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高纯水及超纯水处理
工艺介绍
英诺格林高纯水及超纯水处理设备,可制备超纯水,高效去除离子、TOC、微生物与微粒。系统绿色无酸碱再生、全自动稳定运行,广泛服务于电子、光伏、制药、电力及实验室领域,为高端制程提供一站式超纯水保障。
工艺流程
技术优势
设备参数
典型案例
工艺流程
常规高纯水处理工艺

高纯水处理工艺

超纯水处理工艺

技术优势
成熟可靠、运行稳定、水质波动小,水质纯度最大能达到极限值
可根据原水水质及各行业产水水质要求灵活组合工艺
自动化程度高,便于远程监控与运维
设备参数
RO:脱盐率98%–99.7%,单级 RO 产水水质:5–10 μS/cm,双级 RO 产水≤5 μS/cm。
EDI:回收率90%,产水水质:15–18.2 MΩ·cm。
UV:波长185nm(氧化 TOC)、波长254nm(杀菌)。
终端过滤:0.1/0.22 μm过滤除菌、0.05 μm过滤除颗粒。
典型案例



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