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高纯水及超纯水处理
工艺介绍

英诺格林高纯水及超纯水处理设备,可制备超纯水,高效去除离子、TOC、微生物与微粒。系统绿色无酸碱再生、全自动稳定运行,广泛服务于电子、光伏、制药、电力及实验室领域,为高端制程提供一站式超纯水保障。

工艺流程
技术优势
设备参数
典型案例
工艺流程

常规高纯水处理工艺


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高纯水处理工艺


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超纯水处理工艺


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技术优势
  1. 成熟可靠、运行稳定、水质波动小,水质纯度最大能达到极限值

  2. 可根据原水水质及各行业产水水质要求灵活组合工艺

  3. 自动化程度高,便于远程监控与运维

设备参数
  1. RO:脱盐率98%–99.7%,单级 RO 产水水质:5–10 μS/cm,双级 RO 产水≤5 μS/cm。

  2. EDI:回收率90%,产水水质:15–18.2 MΩ·cm。

  3. UV:波长185nm(氧化 TOC)、波长254nm(杀菌)。

  4. 终端过滤:0.1/0.22 μm过滤除菌、0.05 μm过滤除颗粒。

典型案例

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